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中芯世界“半导体结构及其构成办法”专利获授权

发布时间:2023-10-30 13:47:57   来源:爱游戏官方网站
 

  集微网音讯,天眼查显现,中芯世界“半导体结构及其构成办法”专利获授权,授权公告日为5月23日,授权公告号为CN112017949B。

  据悉,专利人为中芯世界集成电路制作(上海)有限公司、中芯世界集成电路制作(北京)有限公司。

  专利摘要显现,一种半导体结构及其构成办法,构成办法有:供给基底,震动多个晶体管区以及电阻区,晶体管区基底上构成有伪栅结构,电阻区基底上构成有电阻器结构,伪栅结构和电阻器结构显露的基底上构成有层间介质层;构成掩盖层间介质层、伪栅结构和电阻器结构的硬掩膜层;进行至少一次栅极替换工艺,震动:刻蚀硬掩膜层,显露待去除的伪栅结构;以剩下硬掩膜层为掩膜去除显露的伪栅结构,在层间介质层内构成开口;在开口中构成掩盖硬掩膜层的栅极资料层;以硬掩膜层顶面为中止方位,对栅极资料层进行平整化处理;在栅极替换工艺后,去除剩下硬掩膜层;去除高于层间介质层顶面的剩下栅极资料层,构成栅极结构。



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